简化的晶片对准

摘要

本发明涉及在半导体制造工具中对准晶片。更特别是，本发明的一个或多个方面涉及快速和有效地找出晶片上的例如对准缺口的对准标记，使得晶片在对准工具中适当定向。不同于传统系统，缺口在不牢固保持和转动或旋转晶片的情况下定位。由此减小暴露于大量背面污染物的情况，以及降低与对准晶片相关的复杂性和/或成本。

主权项

1. 一种适用于在半导体晶片上定位对准标记的系统，包括:轴；可运动地安装在轴上的套筒；安装在轴的一端上并适用于支承位于其上的晶片的一个或多个支承销；以及可操作地连接到套筒上的臂构件，在晶片位于一个或多个支承销上时，臂构件的一端朝着晶片向上延伸，臂构件的所述端可操作，以便形成可与晶片周边相交的辐射射束，其中晶片可通过围绕晶片周边转动臂构件来扫描，并且该标记可通过透过晶片的辐射量的变化来识别。