空间变换器及其制造方法以及具有此空间变换器的探针板

摘要

本发明提供一种半导体检测装置的探针板，其包括：印刷电路板，自外部将电信号施加于所述印刷电路板；空间变换器，其具有直接与检测对象接触的多个探针；以及多个互连件，其将印刷电路板连接至空间变换器的探针。该空间变换器包括：多个基板件，探针安装于所述基板件的一侧上；以及装配构件，其将基板件接合在一起并一体化而形成具有处于同一平面上的基板件的大面积基板。此探针板有利于甚至在大面积的情况下提高平面度，并且有利于一次检测形成于晶片上的多个半导体芯片。

主权项

1. 一种半导体检测装置的探针板，其包括：印刷电路板，自外部将电信号施加于所述印刷电路板；空间变换器，其具有直接与检测对象接触的多个探针；以及多个互连件，其将所述印刷电路板连接至所述空间变换器的所述探针，其中，所述空间变换器包括：多个基板件，所述探针安装于所述基板件的一侧上；以及装配构件，其使所述基板件接合在一起并一体化而形成具有处于同一平面上的所述基板件的大面积基板。