A METHOD FOR DEPOSITING AND CURING LOW-K FILMS FOR GAPFILL AND CONFORMAL FILM APPLICATIONS,申请号EP20070784190-传众专利搜索

发明名称	A METHOD FOR DEPOSITING AND CURING LOW-K FILMS FOR GAPFILL AND CONFORMAL FILM APPLICATIONS
摘要
申请公布号	EP2033214(A2)	申请公布日期	2009.03.11
申请号	EP20070784190	申请日期	2007.05.29
申请人	APPLIED MATERIALS, INC.	发明人	MUNRO, JEFFREY, C.;NEMANI, SRINIVAS, D.
分类号	H01L21/3105;C23C16/40;C23C16/452;C23C16/56;H01L21/316	主分类号	H01L21/3105
代理机构		代理人
主权项
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