一种恒温装置及其控制方法

摘要

本发明涉及半导体材料生长技术领域，公开了一种恒温装置，该恒温装置包括加热器、致冷器、搅伴器、温度传感器和控制单元，该控制单元包括PID温度控制器和开关模式温度控制器，根据温度传感器所测的温度，所述PID温度控制器通过PID算法控制加热器的功率来调整恒温装置的温度，所述开关温度控制器通过开启或关断加热或致冷器来调整恒温装置的温度。本发明同时公开了一种恒温装置的控制方法。利用本发明，可以在满足恒温装置尤其是原料存储恒温装置的温度精度的同时，实现能量的节约。

主权项

1、一种恒温装置，该恒温装置包括加热器、致冷器、搅伴器、温度传感器和控制单元，其特征在于，该控制单元包括比例-积分-微分PID温度控制器和开关模式温度控制器，根据温度传感器所测的温度，所述PID温度控制器通过PID算法控制加热器的功率来调整恒温装置的温度，所述开关模式温度控制器通过开启或关断加热或致冷器来调整恒温装置的温度。