| 发明名称 | 玻璃基板的除电装置 | ||
| 摘要 | 一种玻璃基板的除电装置，给刚抬升玻璃基板后的狭小间隙内照射软X射线。将软X射线除电装置(14)产生的软X射线导入间隔(d)，用软X射线光轴监视器(16)检测，通过用该检测输出调整安装位置调整装置(15)，对准光轴。接着，根据数据库(19)的信息，控制装置(17)边控制间隔调整装置(13)边除电。此外，也可边用控制装置(17)判断电位计(18)测出的带电电位是否在允许值以内，边用间隔调整装置(13)控制间隔(d)边除电。 | ||
| 申请公布号 | CN100468132C | 申请公布日期 | 2009.03.11 |
| 申请号 | CN200610073213.2 | 申请日期 | 2006.04.05 |
| 申请人 | 株式会社未来视野 | 发明人 | 稻叶仁;藤野正春;福地泰彦;中岛一义;古知正人 |
| 分类号 | G02F1/13(2006.01)I;H05F3/00(2006.01)I | 主分类号 | G02F1/13(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 杜日新 |
| 主权项 | 1、一种除电装置，包括:载置台，用于承载玻璃基板；间隔调整装置，用于从载置台上抬升玻璃基板；以及软X射线除电装置，用于使软X射线贯穿抬升后的玻璃基板与载置台之间的间隔，其特征在于，该除电装置还设置有:软X射线光轴监视器，用于检测前述软X射线的光轴；以及安装位置调整装置，用于根据该软X射线光轴监视器的检测输出，调整前述软X射线除电装置的安装位置。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||