| 发明名称 | 用于移除离子束中所携带的粒子的系统及方法 | ||
| 摘要 | 一种用于禁止污染粒子与离子束(16)一起传输的系统包括一个电场发生器(12、14)，用于产生相对于离子束(16)的行进路径(20)的电场(28)。位于电场(28)的一个区域内并且位于离子束(16)中的粒子(66)充电至与离子束(16)相匹配的极性，以便使得电场(28)可以推动带电粒子(66)移出离子束(16)。 | ||
| 申请公布号 | CN100468604C | 申请公布日期 | 2009.03.11 |
| 申请号 | CN01818486.3 | 申请日期 | 2001.08.21 |
| 申请人 | 艾克塞利斯技术公司 | 发明人 | E·R·哈林顿;V·M·本维尼斯特;M·A·格拉夫;R·D·拉斯梅尔 |
| 分类号 | H01J37/317(2006.01)I;H01J37/02(2006.01)I;H01J37/30(2006.01)I;H01J3/40(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/317(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 崔幼平;黄力行 |
| 主权项 | 1. 一种用于禁止粒子与离子束一起传输的系统，包括:第一和第二电极(12、14)，用于在其间产生一沿离子束(16)的行进路径(20)的横向的电场(28)；多个在第一电极(12)上的捕获构件(44)和多个在第二电极(14)上的捕获构件(46)；其中，位于离子束(16)中并且位于电场(28)的一区域内的粒子(66)充电至与离子束(16)相匹配的极性，电场(28)推动带电粒子(66)离开离子束(16)的行进路径(20)，所述多个捕获构件(44，46)可操作地禁止带电粒子(66)再进入离子束(16)中。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||