图像传感器及其制造方法

摘要

本发明提供一种图像传感器及其制造方法，其中图像传感器包括：具有读出电路的第一衬底、层间电介质和下线，以及具有光电二极管的第二衬底。第一衬底包含像素部分和外围部分。在像素部分上形成读出电路。在像素部分和外围部分上形成层间电介质。下线穿过层间电介质，以与读出电路和外围部分电连接。光电二极管与第一衬底接合，并且被蚀刻以对应于像素部分。在上面形成有光电二极管的层间电介质上形成透明电极，使得透明电极与光电二极管和外围部分的下线电连接。在透明电极上可形成第一钝化层。在一个实施例中，第一钝化层包括用以暴露透明电极的一部分的沟槽。然后，在外围部分上并且在沟槽中形成上线，以保护光电二极管的横向侧。

主权项

1. 一种图像传感器，包括：第一衬底，包含像素部分和外围部分；读出电路，位于所述像素部分上；层间电介质，位于包括所述像素部分和所述外围部分的所述第一衬底上；第一下线，穿过所述层间电介质，以与所述读出电路电连接；第二下线，穿过所述层间电介质，以与所述外围部分电连接；光电二极管，在所述层间电介质的与所述像素部分对应的部分上；透明电极，位于上面形成有所述光电二极管的所述层间电介质上，所述透明电极与所述光电二极管和所述外围部分的第二下线电连接；第一钝化层，位于所述透明电极上，所述第一钝化层包括用以暴露所述透明电极的一部分的沟槽；以及上线，位于所述外围部分上，包括在所述第一钝化层的沟槽中，其中所述上线保护所述光电二极管的位于所述像素部分边缘处的侧部。