| 发明名称 | 非接触六自由度微位移测量装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种非接触六自由度微位移测量装置，该装置包括：可动部分，被测物体与所述可动部分固定在一起；固定不动部分；三个面阵CCD，其中，第一面阵CCD和第二面阵CCD与可动部分固定在一起，第三面阵CCD与固定不动部分固定在一起；三路激光输出结构，与固定不动部分固定在一起，并发射三束光束，分别被所述三个面阵CCD接收，其中，当被测物体发生任意自由度的运动时，引起相应面阵CCD上光点的位置发生变化，根据被测物体运动前后所述光点位置的变化来计算被测物体的六自由度位移。本发明的非接触六自由度微位移测量装置可用于高精度的物体六自由度微位移监测。 | ||
| 申请公布号 | CN101382416A | 申请公布日期 | 2009.03.11 |
| 申请号 | CN200810149831.X | 申请日期 | 2008.10.08 |
| 申请人 | 北京信息科技大学 | 发明人 | 刘力双;吕勇;郎晓萍;吕乃光;孙鹏 |
| 分类号 | G01B11/02(2006.01)I;G01B11/03(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人 | 韩明星;张 军 |
| 主权项 | 1、一种非接触六自由度微位移测量装置，包括:可动部分，被测物体与所述可动部分固定在一起；固定不动部分；三个面阵CCD，其中，第一面阵CCD和第二面阵CCD与可动部分固定在一起，第三面阵CCD与固定不动部分固定在一起；三路激光输出结构，与固定不动部分固定在一起，并发射三束光束，分别被所述三个面阵CCD接收，其中，当被测物体发生任意自由度的运动时，引起相应面阵CCD上光点的位置发生变化，根据被测物体运动前后所述光点位置的变化来计算被测物体的六自由度位移。 | ||
| 地址 | 100192北京市海淀区清河小营东路12号 | ||