| 发明名称 | 一种用于晶硅太阳电池的复合钝化减反膜及其制备方法 | ||
| 摘要 | 一种用于晶硅太阳电池的复合钝化减反膜，其特征在于所述复合钝化减反膜由一层非晶硅层(2)和一层二氧化钛层(3)构成，所述非晶硅层(2)直接淀积在太阳电池(1)的迎光面上起到表面钝化作用，所述二氧化钛层(3)淀积在所述非晶硅层(2)上，起到减少电池光反射的作用。制备本发明钝化减反膜的方法，首先在太阳电池(1)上采用化学气相淀积(PECVD)工艺淀积制备非晶硅层(2)，然后在所述非晶硅层(2)上采用常压化学气相淀积(APCVD)工艺淀积二氧化钛层，或者在所述非晶硅层(2)上采用热喷涂工艺淀积二氧化钛层(3)。 | ||
| 申请公布号 | CN101383382A | 申请公布日期 | 2009.03.11 |
| 申请号 | CN200810223718.1 | 申请日期 | 2008.10.09 |
| 申请人 | 中国科学院电工研究所;欧贝黎新能源科技股份有限公司 | 发明人 | 赵雷;王文静 |
| 分类号 | H01L31/02(2006.01)I;H01L31/0203(2006.01)I;H01L31/0232(2006.01)I;H01L31/048(2006.01)I;H01L31/052(2006.01)I;H01L31/20(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人 | 关 玲;李新华 |
| 主权项 | 1、一种用于晶硅太阳电池的复合钝化减反膜，其特征在于所述复合钝化减反膜由一层非晶硅层(2)和一层二氧化钛层(3)构成，所述非晶硅层(2)直接淀积在太阳电池(1)的迎光面上，起表面钝化作用；所述二氧化钛层(3)淀积在所述非晶硅层(2)上，起到减少电池光反射的作用。 | ||
| 地址 | 100080北京市海淀区中关村北二条6号 | ||