发明名称 |
便于测试印刷半导体器件的方法和设备 |
摘要 |
一种印刷平台接收(102)(优选嵌入半导体器件印刷工序(101))基板,该基板上面印刷有至少一个半导体器件和测试结构,该测试结构包括至少一个半导体层。这些教导然后提供:相对于至少一个静态(即相对不变)的电特性度量来自动测试(103)测试结构。所选择的静态电特性度量(或多个度量)会随应用设置而变化,但是可以包括例如电阻的测量、电抗的测量和/或电连续性的测量。选择性地(尽管优选),然后,至少部分地根据该度量来调整(105)半导体器件印刷工序本身。 |
申请公布号 |
CN101384891A |
申请公布日期 |
2009.03.11 |
申请号 |
CN200680040279.X |
申请日期 |
2006.10.19 |
申请人 |
摩托罗拉公司 |
发明人 |
保罗·W·布拉齐斯;丹尼尔·R·加莫塔;克里希纳·卡利亚纳孙达拉姆;张婕;克里希纳·D·约恩纳拉加达 |
分类号 |
G01L9/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01L9/00(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
黄启行;陆锦华 |
主权项 |
1. 一种方法,包括:嵌入半导体器件印刷工序;-接收上面印刷有至少一个半导体器件以及还印刷有测试结构的基板,所述测试结构包括至少一个印刷半导体层;-相对于至少一个静态电特性度量,自动地测试所述测试结构。 |
地址 |
美国伊利诺伊州 |