发明名称 一种制作纳透镜列阵的方法
摘要 一种制备纳透镜列阵的方法,属于微纳加工技术领域;其特征在于:首先选择基底,并对其进行亲水化处理;然后通过自组装的方法在基底上排列纳米球;再通过传递技术,将纳米球的形状传递到基底上形成纳透镜。本发明克服现有技术纳米透镜制作成本高、加工周期长等缺点;具有不需要复杂设备、不需要掩模板、成本低、效率高、工艺简单等显著特点,同时还具有纳米透镜口径、排布方式、矢高、占空比可控的优点,为纳透镜列阵的制作提供一种简单实用的新方法。
申请公布号 CN101382734A 申请公布日期 2009.03.11
申请号 CN200810224693.7 申请日期 2008.10.23
申请人 中国科学院光电技术研究所 发明人 邓启凌;杜春雷
分类号 G03F7/00(2006.01)I;G02B3/00(2006.01)I 主分类号 G03F7/00(2006.01)I
代理机构 北京科迪生专利代理有限责任公司 代理人 贾玉忠;卢 纪
主权项 1、一种制备纳透镜列阵的方法,其特征在于:首先选择基底,并对其进行亲水化处理;然后通过自组装的方法在基底上排列纳米球;再通过传递技术,将纳米球的形状传递到基底上形成纳透镜。
地址 610209四川省成都市双流350信箱
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