加工系统的自动配置方法

摘要

一种为半导体制造环境自动配置先进工艺控制(APC)系统的方法，其中产生用于执行自动配置程序的自动配置脚本。自动配置脚本激活用于输入到自动配置程序中的默认值。执行自动配置脚本，以便产生从自动配置程序输出的启用参数文件。启用参数文件识别用于统计工艺控制(SPC)图表生成的参数。

主权项

1、一种为半导体加工环境自动配置系统的方法，包括:产生用于执行自动配置程序的自动配置脚本，其中所述自动配置脚本激活用于输入到自动配置程序中的默认值；执行所述自动配置脚本，以便产生从所述自动配置程序输出的启用参数文件，其中所述启用参数文件识别用于统计工艺控制图表生成的参数；为至少一个所述启用参数产生至少一个统计工艺控制图表，其中所述产生包括每次执行所述自动配置脚本时，自动产生所述统计工艺控制图表；以及产生所述至少一个统计工艺控制图表中的至少一个的控制限度，其中所述产生包括每次执行所述自动配置脚本时，自动计算所述控制限度。