用于光刻装置的对准系统及其级结合光栅系统

摘要

本发明公开了一种用于光刻装置的对准系统及其级结合光栅系统，该对准系统包括提供照明光源的光源模块；传输照明光源的光束，垂直照明晶片上周期性光学结构对准标记的照明模块；采用显微物镜收集对准标记的多级次衍射光，采用多色光分离系统实现多波长衍射光的分离，并利用级结合光栅系统使对准标记衍射频谱的正、负级次的频谱光斑对应重叠相干的成像模块；采用差动莫尔信号探测方法，测量多个波长、多个级次频谱光斑对应位置处光强或位相的变化，得到对准标记位置信息的探测模块。级结合光栅系统包括光栅、反射镜和棱镜，使对准标记衍射频谱的+1—+n级和-1—-n级相同级次的正、负级衍射光斑对应重叠相干。以提供较高的对准精度和稳定性。

主权项

1. 用于光刻装置的对准系统，包括:光源模块、照明模块、成像模块、探测模块；所述的光源模块，提供用于对准系统的照明光源；所述的照明模块，传输照明光源的光束，垂直照明晶片上周期性光学结构的对准标记；其特征在于，所述的成像模块，采用显微物镜收集对准标记的多级次衍射光，并采用多色光分离系统实现多波长衍射光的分离，然后利用级结合光栅系统使对准标记衍射频谱的正、负级次的频谱光斑对应重叠相干；所述的探测模块，采用差动莫尔信号探测方法，通过测量多个波长、多个级次频谱光斑对应位置处的光强或位相的变化，得到对准标记的位置信息。