制造液晶显示器的方法

摘要

本发明的方法包括步骤：使用光模压材料在有源矩阵液晶显示器的薄膜晶体管中的基础电极上的绝缘膜上形成具有凸起和凹陷的有机材料膜；通过干法蚀刻所述有机材料膜来减小所述有机材料膜的厚度，暴露出接触孔形成区域中的所述绝缘膜；通过干法蚀刻暴露的绝缘膜来形成接触孔；通过在所得到的结构上形成所述反射电极，使暴露的基础电极和反射电极接触。

主权项

1、一种制造液晶显示器的方法，包括以下步骤:使用光模压材料，通过曝光和烘烤步骤在有源矩阵液晶显示器的薄膜晶体管中的基础电极上的绝缘膜上形成具有凸起和凹陷的有机材料膜；在该凹陷的有机材料膜仍具有一定的厚度，该凹陷并非直接暴露出其下面层，且在该曝光和烘烤步骤之后，在接触孔形成区域上方具有该有机材料膜；通过干法蚀刻所述有机材料膜来减小该有机材料膜的厚度，暴露出在接触孔形成区域中的所述绝缘膜；和通过干法蚀刻暴露的绝缘膜形成接触孔。