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发明名称
Chuck for holding a device under test
摘要
A chuck for a probe station.
申请公布号
US7501810(B2)
申请公布日期
2009.03.10
申请号
US20070977050
申请日期
2007.10.23
申请人
发明人
分类号
G01R31/02
主分类号
G01R31/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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