发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, GAS SUPPLY UNIT, SUBSTRATE PROCESSING METHOD, AND STORAGE MEDIUM
摘要
申请公布号 KR100887447(B1) 申请公布日期 2009.03.10
申请号 KR20070082204 申请日期 2007.08.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/20 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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