| 发明名称 |
Procédé de préparation de couches de carbure de silicium à haute pureté, sans liant |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR1269377(A) |
申请公布日期 |
1961.08.11 |
| 申请号 |
FR19600833067 |
申请日期 |
1960.07.15 |
| 申请人 |
WACKER-CHEMIE G. M. B. H. |
发明人 |
|
| 分类号 |
C01B31/36;C23C16/32;H01L21/00 |
主分类号 |
C01B31/36 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
