发明名称 Camera apparatus for use of photomask auto inspection equipment
摘要
申请公布号 KR100887566(B1) 申请公布日期 2009.03.09
申请号 KR20070055737 申请日期 2007.06.07
申请人 发明人
分类号 G01N21/88;G02F1/13;H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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