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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR WASHING SUBSTRATE
摘要
申请公布号
KR100886022(B1)
申请公布日期
2009.03.03
申请号
KR20080016835
申请日期
2008.02.25
申请人
发明人
分类号
G02F1/13;H01L21/304;B08B1/04;B08B3/04;B08B7/04;G02F1/1333;H01L21/00
主分类号
G02F1/13
代理机构
代理人
主权项
地址
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