发明名称 Probe station with low inductance path
摘要 A probe assembly suitable for high-current measurements of an electrical device.
申请公布号 US7498828(B2) 申请公布日期 2009.03.03
申请号 US20070820518 申请日期 2007.06.20
申请人 CASCADE MICROTECH, INC. 发明人 DUNKLEE JOHN;COWAN CLARENCE E.
分类号 G01R31/02;G01R31/28 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
主权项
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