发明名称 |
Probe station with low inductance path |
摘要 |
A probe assembly suitable for high-current measurements of an electrical device.
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申请公布号 |
US7498828(B2) |
申请公布日期 |
2009.03.03 |
申请号 |
US20070820518 |
申请日期 |
2007.06.20 |
申请人 |
CASCADE MICROTECH, INC. |
发明人 |
DUNKLEE JOHN;COWAN CLARENCE E. |
分类号 |
G01R31/02;G01R31/28 |
主分类号 |
G01R31/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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