垂直型热处理装置及待处理基板之移载方法

摘要

本文中揭示一种垂直型热处理装置，该垂直型热处理装置包括：一热反应器，其具有一反应器开口；一盖罩，其气密地封闭该反应器开口；一固持器，其经由一环状支撑板而将多数待处理基板以预定间隔而垂直地配置之方式来固持该等基板；及一升降机构，其将该固持器装载至该热反应器中及自该热反应器卸载该固持器。一移载机构具有以预定间隔配置之复数个移载板以载运待处理基板，且在储存容器与该固持器之间移载该等待处理基板。该支撑板被分成一外支撑板及一内支撑板。该外支撑板具有该等移载板可垂直地穿过以移载该等待处理基板之一缺口部。该内支撑板置放于该外支撑板之内周边处且具备一用于阻塞该缺口部之阻塞部。因此，可一次将复数个待处理基板移载至具有该环状支撑板之该固持器。此使得有可能减少移载时间、增加处理量且提供增加之产量。