湿式清洁系统设计

摘要

本发明大体上提出在多室处理系统中处理及传送基材的设备和方法，其可接纳及执行平行进行的单一基材处理步骤，并结合批式制程的许多优点。本发明所述之实施例可使系统产能最大化、降低系统成本、减少制程时每一基材的处理费用、提高系统可靠度、增进经处理基材的元件产量、及缩小系统占据空间。在一实施例中，丛集工具用来执行湿式/清洁程序，其中各基材清洁制程在丛集工具中处理基材。