奈米压模单体用二氧化钛掺杂石英玻璃

摘要

〔解决手段〕一种奈米压模单体用二氧化钛掺杂石英玻璃，其特征为：对于波长365nm之紫外线，其内部透过率分布系为10％以下。〔效果〕若藉由本发明，则在细微图案转印时之单体的透过率分布所致的树脂之硬化的程度，系难以产生差异，而能够提供一种适合于奈米压模单体之二氧化钛掺杂石英玻璃。