| 摘要 |
本发明系有关于一种输送基板装置，包含一第一平台、一第二平台、一第二平台、一升降柱、一支撑平台、二机械手臂及二端效器，第二平台设于第一平台上，并旋转于第一平台上，支撑平台设于第二平台，其一侧嵌设于升降柱，使支撑平台作上下移动，二机械手臂水平对称设于支撑平台上，每一机械手臂包含一第一机械臂及一第二机械臂，第一机械臂之一端设于支撑平台，第二机械臂之一端设于第一机械臂之另一端上，每一端效器设于对应之第二机械臂之另一端，二机械手臂使承载一基板之二端效器往前移动。本发明之输送基板装置可减少设置空间，并具有良好的平衡性，准确取得及置放基板，二机械手臂作高速旋转而不损坏基板，有效提高工作效率。 |
