液滴喷头之控制方法、描绘方法及液滴喷出装置

摘要

本发明提供一种可精确控制喷出量之液滴喷头的控制方法、描绘方法及液滴喷出装置。本发明之液滴喷出装置系加压液滴喷头15之空腔，从与空腔连通之喷嘴31喷出微小液滴36并涂布于基板8上。液滴喷出装置1具备载台4，其系相对移动液滴喷头15与基板8。液滴喷头15具备加压空腔之压电元件。压电元件于从喷嘴31不喷出微小液滴36时，数次连续加压空腔至不从喷嘴31喷出微小液滴36之程度，使空腔内之功能液压力变动。压电元件配合与液滴喷头15接触之空气流动37之风速，变更加压之压力频率，以加压空腔。