发明名称 物体形貌测量方法
摘要 一种物体形貌测量方法,其包括以下步骤:(1)提供二测量装置及一控制器,该二测量装置均包括可伸缩运动之测量头及感测该测量头位移之感测器,且该二测量装置之测量头相互对准,该控制器与二测量装置之感测器分别电连接;(2)将二测量装置之测量头分别与被测物二相对表面接触;(3)使该二测量头相对被测物同步运动且与被测物保持接触,二相应之感测器将感测到之测量头位移资讯传送给控制器;(4)控制器根据该位移资讯计算出被测物一截面之形状,该截面由该二测量头在被测物表面划过之轨迹构成;(5)重复步骤(3)、(4),测出复数该被测物之截面,该复数截面可叠合出被测物之形貌。
申请公布号 TW200909772 申请公布日期 2009.03.01
申请号 TW096130561 申请日期 2007.08.17
申请人 鸿海精密工业股份有限公司 发明人 刘庆;李;中川威雄
分类号 G01B5/20(2006.01) 主分类号 G01B5/20(2006.01)
代理机构 代理人
主权项
地址 台北县土城市自由街2号