用于将缺陷分类并进行积层滚筒研磨之方法

摘要

本发明揭示一种用于将缺陷分类并进行积层滚筒研磨之方法(100)，其包含以下组成之阶段：a)在描述滚筒之多个表面测量的地图中辨识缺陷区域；b)计算辨识之各缺陷区域的多个典型参数；c)根据该计算之参数辨识该辨识之缺陷区域带有之缺陷的型式；d)决定(120)辨识之各型缺陷的指定缺陷之接受力低限值；e)根据该缺陷区域之缺陷型式带有之该接受力低限值、与该缺陷区域带有之该滚筒之多个表面测量的测量间之比较，而界定(130)各缺陷之修正动作；f)如果阶段c)界定之修正动作为去除缺陷之研磨操作，则根据该滚筒之该表面测量决定(140)研磨参数。