薄膜承载片及薄膜性质量测系统

摘要

一种薄膜承载片，包含一框架，及一感测件。该框架包括一环绕一第一轴线之内周面。该感测件包括一悬臂段，及一被驱动段，该悬臂段是由该内周面沿一与该第一轴线相交之第二轴线的方向延伸，并具有二分别位于该第二轴线两侧之侧缘，该等侧缘之延长线是相交于该第一轴线。该被驱动段是由该悬臂段沿该第二轴线方向延伸，并具有沿该第一轴线相背设置之一驱动面及一基准面，且该被驱动面之形心是位于该第一轴线上。如此，当一通过该形心之作用力作用于该被驱动段而使该悬臂段弯曲时，该悬臂段所受之应力为均匀分布。