| 摘要 |
问题︰提供一种少量液体喷雾装置，其用于使诸如液态光阻剂、表面保护膜剂、功能性涂布剂等液体极其精细地雾化并将其涂覆至诸如半导体矽晶圆、玻璃基板等被涂物件以形成薄膜。解决方法：当分配液体时，藉由针移动量调整装置2C将针形针尖部分8A与第一喷嘴孔7a之间的开口间隙调整极微量，且液体沿针尖部分8A自第一喷嘴孔7a渗出，且流经第一雾化压缩气体通道5A的第一雾化压缩气体使液体形成微小颗粒且自第二喷嘴孔9a排出，且排出流通过第三喷嘴孔10a且排出，且第三喷嘴10之第二雾化/涡流形成压缩气体与此排出流碰撞，从而使排出流形成更小颗粒且涡旋并分散，且涂覆至被涂物件。 |
