具有快速去夹紧时间之低成本静电夹具

摘要

一种制造一半导体晶圆静电夹之方法，包含：提供一黏着盘、在黏着盘之一绝缘部位形成一绝缘层、在黏着盘之一第一部位形成一第一电极、在黏着盘之一第二部位形成一第一电极、在第一电极上形成一具有一第一导电性之第一分段、在产生一n-p型复合物之第一分段上形成一具有第二导电性之第一区域、在第二电极上形成一具有第三导电性之第二分段、在产生一p-n型复合物之第二区域上形成一具有第四导电性之第二区域。