蚀刻液组成物

摘要

本发明系提供一种蚀刻液组成物。本发明之课题在于对铝膜、铝合金膜等的金属膜控制性佳且抑制、防止光阻渗透的产生而进行蚀刻，可得所欲的锥形形状、具有良好的平坦性之金属膜。解决之手段在于使用含有磷酸、硝酸、有机酸盐之水溶液，作为对基板上的金属膜进行蚀刻用之蚀刻液组成物。作为前述有机酸盐，系使用选自脂肪族单羧酸、脂肪族多羧酸、脂肪族次碳酸、芳香族单羧酸、芳香族多羧酸、芳香族次碳酸所成群的至少1种之选自铵盐、胺盐、4级铵盐、硷金属盐所成群的至少1种。而且，使前述有机酸盐的浓度为0.1~20重量％的范围。而且，使本发明的蚀刻液组成物用于前述金属膜为铝或铝合金的情况。