研磨装置之研磨面的加热／冷却装置

摘要

本发明提供一种用于加热或冷却研磨面之装置。此装置包含当在研磨工件时配置成面对研磨面之热交换器。该热交换器包含热交换媒介流经之媒介通道，以及面对研磨面之底表面。该底表面之至少一部分于研磨面上方以向上斜度倾斜，使得在研磨面上之研磨液于研磨面移动期间产生施加于底表面上之升力(lift)。