涂布液供给装置

摘要

本发明之涂布液供给装置可确实地防止从涂布液收容构件漏出之涂布液到达外部。该涂布液供给装置包含有：设有涂布液流动部之涂布液收容构件；及插入涂布液收容构件内，将收容于涂布液收容构件内之涂布液透过涂布液流动部往外部吐出的涂布液压出构件。又，涂布液收容构件在涂布液压出构件之插入部设有用以回收经由插入部漏出之涂布液的涂布液回收部。