发明名称 METHOD OF FORMING SILICIDE FILMS IN SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 KR100886260(B1) 申请公布日期 2009.02.27
申请号 KR20040043346 申请日期 2004.06.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H04N5/217;H01L21/24;H01L21/285;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/78;(IPC1-7):H04N5/217 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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