摘要 |
Ein Verfahren zur Frequenzstabilisierung eines Gaslasers mit einem Laserrohr (1) weist im stabilen Betrieb eine Dauerbetriebsregelung mit den folgenden Schritten auf: Betreiben des Gaslasers zum Abstrahlen von Laserlicht; Messen einer Intensität einer Komponente des abgestrahlten Laserlichtes mit einem Detektor (8); Einstellen einer Rohrtemperatur des Laserrohres (1) mittels einer Regelung (7), so dass die gemessene Intensität auf einen Sollwert geregelt wird.Dabei weist das Verfahren bei Inbetriebnahme des Gaslasers eine Inbetriebnahmeregelung mit den folgenden Schritten auf: Messen einer Umgebungstemperatur; Regeln des Zustandes des Laserrohres (1) mittels der Regelung (7) auf einen Sollzustand, wobei der Sollzustand einer Temperatur des Laserrohres (1) bei der gemessenen Umgebungstemperatur im eingeschwungenen Zustand ohne weitere Heizung oder Kühlung entspricht; und Umschalten auf die Dauerbetriebsregelung.Vorzugsweise wird bei der Inbetriebnahmeregelung die Anzahl von Modi, die das Laserrohr (1) beim Aufheizen durchläuft, gezählt, und geschieht die Regelung entsprechend dieser Anzahl, bis das Laserrohr (1) nahe des Sollzustands ist.
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