| 发明名称 |
Herstellung abrupter Übergänge in Bauelementen unter Anwendung des Dotierstoffschneepflugeffektes (Dopant Snowplow Effect) beim Silizidwachstum |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE112004002401(B4) |
申请公布日期 |
2009.02.26 |
| 申请号 |
DE200411002401T |
申请日期 |
2004.10.26 |
| 申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICES INC. |
发明人 |
MASZARA, WITOLD P. |
| 分类号 |
H01L21/336;H01L21/265;H01L21/285;H01L29/417;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/336 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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