Mikromanipulator zur Bewegung einer Kontaktspitze

摘要

Es wird ein Mikromanipulator zur Bewegung einer Prüfspitze beschrieben. Der Mikromanipulator umfasst zwei Elemente, die miteinander derart mechanisch verbunden sind, dass eines relativ zu dem anderen Element beweglich ist. Die Bewegung des Elements erfolgt aufgrund einer Druckänderung eines Fluids, welches auf einen Aktuator einwirkt, der mit dem beweglichen Element in mechanischem Kontakt steht, oder auf einen Flächenabschnitt des sich bewegenden Elements.