| 发明名称 |
Herstellungsverfahren für Dünnschichtbauelemente |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60041314(D1) |
申请公布日期 |
2009.02.26 |
| 申请号 |
DE20006041314 |
申请日期 |
2000.11.09 |
| 申请人 |
THE BOEING CO. |
发明人 |
KIZILOGLU, KURSAD;FIELDS, CHARLES H.;SCHMITZ, ADELE E. |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L29/73;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/331;H01L21/335;H01L21/338;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/778;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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