摘要 |
Eine Anordnung von Halbleiterchips mit intergrierter Schaltung weist einen ersten Halbleiterchip, der eine erste elektrische Kopplungsstelle aufweist, und einen zweiten Halbleiterchip, der eine zweite elektrische Kopplungsstelle aufweist, wobei der zweite Halbleiterchip auf den ersten Halbleiterchip gestapelt ist, derart, dass die erste elektrische Kopplungsstelle zumindest teilweise freiliegt, wobei die erste elektrische Kopplungsstelle und die zweite elektrische Kopplungsstelle direkt elektrisch verbunden sind, und einen dritten Halbleiterchip auf, der über dem ersten Halbleiterchip und dem zweiten Halbleiterchip angeordnet ist, derart, dass eine Ausnehmung gebildet ist, wobei eine der ersten elektrischen Kopplungstellen in der Ausnehmung angeordnet ist. |