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发明名称 RF Plasma Reaktor
摘要
申请公布号 DE10119766(B4) 申请公布日期 2009.02.26
申请号 DE2001119766 申请日期 2001.04.23
申请人 OC OERLIKON BALZERS AG 发明人 TURLOT, EMMANUEL;SCHMITT, JACQUES;CHEVIER, JEAN BAPTISTE;BARREIRO, JEAN
分类号 H01J37/32;H05H1/46;B01J19/08;B01J19/24;C03C23/00;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/509;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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