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发明名称
METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR100885895(B1)
申请公布日期
2009.02.26
申请号
KR20070066111
申请日期
2007.07.02
申请人
发明人
分类号
H01L21/28;H01L21/31
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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