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发明名称 PROCESS FOR PURIFYING POLYCRYSTALLINE SILICON
摘要 The present invention relates to a process for purifying polycrystalline silicon using ozone.
申请公布号 WO2009024478(A2) 申请公布日期 2009.02.26
申请号 WO2008EP60424 申请日期 2008.08.08
申请人 WACKER CHEMIE AG;WOCHNER, HANNS;GOSSMANN, CHRISTIAN;LINDNER, HERBERT 发明人 WOCHNER, HANNS;GOSSMANN, CHRISTIAN;LINDNER, HERBERT
分类号 C01B33/00 主分类号 C01B33/00
代理机构 代理人
主权项
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