发明名称 |
坩埚加热装置和包括该坩埚加热装置的淀积装置 |
摘要 |
一种坩埚加热装置和一种包括该坩埚加热装置的淀积装置。该坩埚加热装置包括:坩埚,其包括用于容纳淀积材料的主体和设置在所述主体并具有喷嘴的盖;带,其通过接触部分与所述坩埚相连;热电偶,其与所述带相连;壳体,其用于容纳所述坩埚和所述带;和加热器,其设置在所述壳体内部,用于加热所述淀积材料。 |
申请公布号 |
CN101372736A |
申请公布日期 |
2009.02.25 |
申请号 |
CN200810214020.3 |
申请日期 |
2008.08.22 |
申请人 |
三星SDI株式会社 |
发明人 |
鲁硕原;姜泰旻;成镇旭;李相奉;李承默;朴镇佑;金善浩;郑明钟 |
分类号 |
C23C14/12(2006.01);C23C14/26(2006.01);F27B14/06(2006.01);F27B14/20(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/12(2006.01) |
代理机构 |
北京德琦知识产权代理有限公司 |
代理人 |
罗正云;王诚华 |
主权项 |
1.一种坩埚加热装置,包括:坩埚;带,与所述坩埚的底部相连,具有用于接触所述坩埚的底部的接触部分;热电偶,具有与所述带相连的第一端子;壳体,用于容纳所述坩埚和所述带;和加热器,设置在所述壳体内部,用于加热容纳于所述坩埚内的淀积材料。 |
地址 |
韩国京畿道 |