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Se describen métodos de destilación a presión reducida para purificar monómeros de siloxanilo en presencia de por lo menos un inhibidor de la polimerización. En otros aspectos, el inhibidor de la polimerización puede ser una alquilhidroquinona o un hidroxinaftaleno. También se describen compuestos purificados mediante los métodos descritos y polímeros producidos a partir de los mismos. Reivindicación 11: El método de acuerdo con la reivindicación 0, donde el monómero de siloxanilo es representado mediante la siguiente fórmula (A1-1) o (A1-2), donde R1 representa H, alquilo C1-18 sustituido o no sustituido, o fenilo sustituido o n o sustituido, donde X representa H o un grupo hidrolizable; y A representa un grupo siloxanilo. Reivindicación 12: El método de acuerdo con la reivindicación, donde A es un grupo representado mediante la siguiente fórmula (B1); donde Q1 a Q11 representan independientemente H, alquilo C1-20 sustituido o no sustituido, o arilo C6-20 sustituido o no sustituido; donde k representa un número entero de 0 a 200; y donde a, b, y c representan independientemente números enteros de 0 a 20, con la condición de que k, a, b, y c no sean simultáneamente cero. Reivindicación 13: El método de acuerdo con la reivindicación, donde A es un grupo representado mediante la siguiente fórmula (B2); donde Q21 a Q27 representan independientemente H, alquilo C1-18 sustituido o no sustituido, o fenilo sustituido o no sustituido; y donde n representa un número entero de 0 a 12.
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