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发明名称 GROUP III NITRIDE CRYSTAL SUBSTRATE, METHOD FOR PRODUCING SAME, AND GROUP III NITRIDE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP1736572(A4) 申请公布日期 2009.02.25
申请号 EP20050721657 申请日期 2005.03.30
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD.;MORI, YUSUKE 发明人 SASAKI, TAKATOMO;MORI, YUSUKE;YOSHIMURA, MASASHI;KAWAMURA, FUMIO;HIROTA, RYU;NAKAHATA, SEIJI
分类号 C30B29/38;C30B9/00;C30B9/08;C30B9/10;C30B11/00;C30B11/06;C30B29/40;H01L21/208 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
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