用于多路激光刻划机的光功率均衡器

摘要

本实用新型属于光学技术领域，涉及一种用于多路激光刻划机的光功率均衡器。由控制器、依次放置在多路激光刻划机初始激光光路中的偏振控制器、起偏器、分光片和在分光片反射光路中的光电探测器及依次放置在多路激光刻划机下行实施刻划的每个激光光路中的偏振控制器、检偏器、分光片和在分光片反射光路中的光电探测器组成，由各激光光路中的光电探测器监测各激光光路的光功率，并把监测信号输给控制器，控制器向放置在初始激光光路及各个下行实施划机光路中偏振控制器发送不同的模拟控制信号，通过调节激光的偏振态配合起偏器与检偏器达到使刻划机多路激光功率均衡的目的。

主权项

1.一种用于多路激光刻划机的光功率均衡器，其特征在于由控制器、依次放置在多路激光刻划机初始激光光路中的偏振控制器、起偏器、分光片和在分光片反射光路中的光电探测器及依次放置在多路激光刻划机下行实施刻划的每个激光光路中的偏振控制器、检偏器、分光片和在分光片反射光路中的光电探测器组成，设置在初始激光光路及每个下行实施刻划激光光路中的各分光片反射光路中的光电探测器的输出接控制器，控制器的信号输出接设置在初始激光光路及各个下行实施划机光路中偏振控制器。