基于双侧对称阻尼的静压气浮导轨

摘要

基于双侧对称阻尼的静压气浮导轨属于精密仪器与测量技术领域，是针对气浮导轨驱动力小而惯性大的特点，根据导轨位置闭环控制系统的阶跃响应与冲击响应特性，在系统中引入双向粘滞阻尼器构成速度反馈环节，弥补PID控制器中微分参数阻尼作用的不足，达到提高系统阻尼比、减小其运动超调、消除随机扰动引起的固有振动的目的；本导轨是在气浮套两端对称布置两套具有相同参数的粘滞阻尼器构成双向粘滞阻尼器，阻尼力大小与气浮套运动速度成正比，方向与气浮套运动方向在同一条直线上，阻尼系数精确可调，可有效减小导轨的运动超调和定位后在运动方向上的固有振动，使导轨的定位精度和静态稳定性提高约一个数量级。

主权项

1.一种基于双侧对称阻尼的静压气浮导轨，其特征在于：在静压气浮导轨(10)的气浮套(9)两端对称布置两套技术参数完全相同的粘滞阻尼器(1)构成一个双向粘滞阻尼器，粘滞阻尼器(1)的力输出机构(8)作用在气浮套(9)两端对称的位置上，阻尼力的方向与气浮套运动方向相反，且与气浮套运动方向在一条直线上。