| 发明名称 | 移送装置及其控制方法以及真空处理装置 | ||
| 摘要 | 提供一种在支持尺寸大的基板等移送对象物而进行旋转动作的场合旋转半径不加大，在把移送装置纳入半导体制造装置等的真空处理装置的场合装置总体的设置面积不加大的移送装置。本发明的移送装置(1)包括第1和第2连杆(12a、12b)。第1连杆(12a)包括能够以同轴状地设置的第1～第3驱动轴(1a～1c)为中心旋转的第1和第3臂(2、4)，移送第1托架(10a)。第2连杆(12b)包括能够以第1第3驱动轴(1a～1c)的同心旋转轴为中心旋转的第2和第3臂(3、4)，移送第2托架(10b)。第1和第2连杆(12a、12b)构成为第1和第2托架(10a、10b)互不干涉地分别越过第1～第3驱动轴(1a～1c)的同心旋转轴而移动。 | ||
| 申请公布号 | CN100463783C | 申请公布日期 | 2009.02.25 |
| 申请号 | CN200510062636.X | 申请日期 | 2005.04.01 |
| 申请人 | 株式会社爱发科 | 发明人 | 南展史;吾乡健二;川口崇文;小池土志夫;汤山纯平 |
| 分类号 | B25J9/10(2006.01);B25J9/06(2006.01);B25J13/00(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | B25J9/10(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 张天安 |
| 主权项 | 1.一种移送装置，备有：第1、第2、和第3驱动轴，同心状地配置在规定的同心旋转轴上，各自的旋转能够控制；第1、第2、和第3驱动臂，分别固定在前述第1～第3驱动轴上，轴间距离相同；第1连杆机构，具有前述第1～第3驱动臂中的第1和第3驱动臂，和连结在该第1和第3驱动臂上的一对从动臂，在该从动臂上连结有用来对移送对象物进行移送的第1移送部；第2连杆机构，具有前述第1～第3驱动臂中的第2和第3驱动臂，和连结在该第1和第3驱动臂上的一对从动臂，在该从动臂上连结有用来对移送对象物进行移送的第2移送部；前述第1和第2连杆机构由在水平方向上动作的平行四连杆机构构成，备有该第1和第2连杆机构的一对臂的张开角成为180°的、通过死点位置的死点位置通过机构。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||