| 发明名称 |
Liquid processing apparatus and method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1879216(B1) |
申请公布日期 |
2009.02.25 |
| 申请号 |
EP20070011552 |
申请日期 |
2007.06.13 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
NANBA, HIROMITSU;ITO, NORIHIRO |
| 分类号 |
H01L21/00;B05C11/08;B05D1/00;G03F7/16 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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