发明名称 平行平面研磨机
摘要 一种平行平面研磨机,包括吊板、上研磨盘,下研磨盘,联轴环,还包括:第一滑轮群组,包括均匀设置于上研磨盘的周沿的复数个滑轮;第二滑轮群组,包括均匀设置于的吊板的周沿的复数个滑轮;滑轮索,其交替穿过该第一组滑轮群组和第二滑轮群组的滑轮;该滑轮索的长度是可以调整的;在下研磨盘工作面格子状沟槽中设有复数孔口;所述的孔口可向外喷出砂粒或液体或气体;在联轴环上端设置定环盘,该定环盘的外圆周上设置有复数个吊环,上研磨盘上表面设置有与所述吊环对应的吊钩,每一组对应的吊环和吊钩之间以索条联接。本发明能矫正上研磨盘平面平行度的翘曲及使上研磨盘保持水平工作状态,达到与下研磨盘平面的匹配,有利于提高加工质量和效率。
申请公布号 CN100463778C 申请公布日期 2009.02.25
申请号 CN200410066300.6 申请日期 2004.09.10
申请人 上海日进机床有限公司 发明人 卢建伟;石塚阳一;铃木淳平
分类号 B24B37/04(2006.01);H01L21/304(2006.01) 主分类号 B24B37/04(2006.01)
代理机构 上海智信专利代理有限公司 代理人 吴林松
主权项 1.一种平行平面研磨机,包括吊板、上研磨盘,下研磨盘,联轴环,还包括:可对上研磨盘的研磨平面挠度进行调整的挠度矫正机构;该挠度矫正机构包括:第一滑轮群组,包括均匀设置于上研磨盘的周沿的复数个滑轮;第二滑轮群组,包括均匀设置于吊板的周沿的复数个滑轮;滑轮索,其交替穿过该第一组滑轮群组和第二滑轮群组的滑轮;还包括能调整该滑轮索的长度的装置;其特征在于:该能调整该滑轮索的长度的装置包括至少一个调节结构,该调节结构包括:调节螺杆,调节螺母,螺杆座,导索夹板;该螺杆座固定在第二滑轮群组滑轮之间的吊板的周沿,该调节螺杆通过螺杆座上的孔穿入该导索夹板上的对应螺孔中,该调节螺母将调节螺杆固定在螺杆座上;该导索夹板上设有滑轮,该滑轮索搭接通过该导索夹板上的滑轮。
地址 201601上海松江区泗泾镇九干路1358号